在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面。以達(dá)到清洗目的。
　   等離子清洗機(jī)清洗原理： 
　　1.激(活)鍵能，交聯(lián)作用
　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激(活)了表面活性。
 　　2.對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用
　　 等離子清洗機(jī)中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清(除)了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
　　3.形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
       如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活(化)的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明(顯)提高材料表面活性。

       我們都知道，散熱的方式大致有四種：輻射、傳導(dǎo)、對(duì)流、蒸發(fā)。對(duì)于真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔本體、電極板、托架以及附件的散熱，主要是靠傳導(dǎo)散熱和輻射散熱，少量的對(duì)流散熱。
　　1. 真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質(zhì)，電極板基本上采用鋁合金，這兩部分在等離子體處理產(chǎn)品的時(shí)候吸收了大量的熱，不加配套設(shè)施的情況下，就會(huì)以傳導(dǎo)的方式和熱射線的形式散發(fā)給周圍溫度較低的物體，例如機(jī)臺(tái)緊固件、外殼和低溫空氣中。
　　改善措施：給電極和反應(yīng)腔室增加冷卻系統(tǒng)，例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式，可以大大改善散熱效(果)。
　　2. 真空狀態(tài)下氣體往往以擴(kuò)散方式進(jìn)行，很難形成對(duì)流;真空等離子清洗機(jī)腔室內(nèi)的熱量，由真空泵帶走的也是比較有限。
　　改善措施：加(大)進(jìn)氣量或提高抽速，但要考慮放電的真空度和等離子處理效(果)。
　　其他方面，等離子發(fā)生器的選型、功率大小的設(shè)定、真空腔室大小和電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)等，對(duì)于散熱問題的改善也是有幫助的。