真空等離子清洗設(shè)備誕生在20世紀(jì)初，近年來已在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域中，占據(jù)了關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗設(shè)備技術(shù)率先推動了電子信息行業(yè)的發(fā)展，特別是半導(dǎo)體和光電行業(yè)的發(fā)展。由于等離子清洗機(jī)在很多的行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用，今天我們來談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗設(shè)備該如何選擇？在真空等離子清洗設(shè)備的選擇上，主要從以下幾個方面考慮。
一、腔體容量
1、工件容量：
       一般來說，真空等離子清洗機(jī)的分類主要是根據(jù)腔體的大小和腔體的材料來劃分的，在選擇腔體的大小時，首先要考慮的是工件的大小，也就是說，至少要能把工件放下，如果工件連放都放不下，再考慮其素也沒什么意義。
2、生產(chǎn)能力：
       對于生產(chǎn)能力要求高的物品，必須根據(jù)生產(chǎn)能力選擇腔體容量。腔體容量越大，每次加工處理的物品越多。如果生產(chǎn)能力要求不高，工件容量應(yīng)優(yōu)先考慮。在可降件的情況下，根據(jù)其生產(chǎn)能力計算出比較適合的腔體容量。

二、選擇什么頻率的真空等離子清洗設(shè)備。
       近年來較為常用的頻率有40KHz,13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56兆赫的自偏壓約為250伏，20兆赫的自偏壓較低。激發(fā)頻率的機(jī)制各不相同。40兆赫的反應(yīng)是物理反應(yīng)，13.56兆赫的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)。20兆赫有物理反應(yīng)，但更重要的是化學(xué)反應(yīng)。
三、腔體材質(zhì)選擇
       近年來較為常用的腔材料有石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔等，石英腔溫度低，不易發(fā)生反應(yīng)。鋁型材的優(yōu)點(diǎn):鋁型材密度低，強(qiáng)度高，優(yōu)于鋼，加工性能好。鋁具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和抗腐蝕性能。該材料具有良好的化學(xué)反應(yīng)相容性，不容易產(chǎn)生金屬污染、無污染等。

四、真空泵選擇
       究竟是選用國產(chǎn)的還是進(jìn)口的，是單級泵還是油泵，是單級泵還是雙極泵，可根據(jù)客戶的實(shí)際需求來選擇每一臺真空泵，這里就不多說了。
五、氣路選擇
       真空等離子體清洗設(shè)備都是兩通道，但這不能滿足所有的處理要求。如果需要更多的反應(yīng)氣體，氣體通道應(yīng)適當(dāng)增加，這也是根據(jù)用戶的實(shí)際需要選擇多通道。
     以上是小編從五個方面來對真空等離子清洗設(shè)備該如何選擇做了闡述。